电子洁净车间净化措施及净化方案

　　依制企业工艺生产要求，对电子洁净车间净化措施进行热、湿处理和送风是洁净室空调净化基础措施;制冷措施可以根据洁净室净化供冷工艺要求，决定耗冷量、供冷方式、冷冻水温等各类参数措施，同时对比工程建设地区的水源情况以及电源、热源等筹备情况进行技术经济比较，综合分析各种因素加以确定。既要求有较好的经济指标，又要考虑当地的可行性，其中制冷装置的选用是制冷措施确定过程中的重要环节。

　　以集中式净化空调系统，在整个房间内造成具有相同洁净度环境的净化处理方式的电子洁净车间净化措施，称之为全室净化。这是洁净技术中很早发展起来的一种方式，并且现在也仍然被采用。这种方式适合于工艺设备高大，数量很多，且室内要求相同洁净度的场所。但是这种方式投资大、运行管理复杂、建设周期长。

　　集中式净化空调系统由空气初、中效过滤器(作用:过滤杂质等)与热湿处理设备组成空调箱置于空调机房，并用管道与空调室进风口的静压箱及箱内的高压过滤器连接组成的系统，此种系统的冷源可以由冷冻站或在空调机房安装制冷提供;现在大型的空调器是专门技术性化工厂分段制作，到现场组装。

　　目前，应用特别广泛的是全室净化与局部净化相结合的净化处理方式，这是洁净技术发展中产生的净化方式，它既能保证室内具有一定洁净度，又能在局部区域实现高洁净度环境，从而达到既满足生产对高洁净度环境的要求，又节约能源的双重目的。

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